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8寸晶圓傳輸機+徠卡顯微鏡

發(fā)布時(shí)間:2022/12/2 16:45:42      

晶圓檢測系統結合了擁有近貳百年光學(xué)歷史的德國光學(xué)大廠(chǎng)Leica公司的光學(xué)顯微鏡系統,解決了當前半導體產(chǎn)業(yè)客戶(hù)對8英寸及以下尺寸晶圓、第1/2/3代半導體材料晶圓的晶圓傳送&光學(xué)檢測需求。

該系統具有其它同類(lèi)型產(chǎn)品所不具備的通用性,可以兼容第一~第三代材料,兼容不透明材質(zhì)\半透明\全透明材質(zhì)的晶圓,以及對應的8/6英寸、6/4英寸、4/2英寸晶圓尺寸兼容。

該系統具有其它同類(lèi)型產(chǎn)品所不具備的擴展性,可以升級成為全自動(dòng)檢測系統(可以選配AOI/AI智能檢測軟件),可以針對特殊工藝晶圓、特殊標記Mark、雙平邊晶圓等進(jìn)行相應的擴展或者改造,可以選配SMIF系統、SECS/GEM通訊協(xié)議。

本設備整體兼容6&8英寸晶圓,適用于硅片(不透明材質(zhì))、碳化硅及其它透明/半透明材質(zhì)晶圓片。設備可識別Flat\Notch,支持晶圓厚度范圍:8英寸300um~1000um / 6英寸200um~1000um。

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