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徠卡金相顯微鏡

簡(jiǎn)要描述:徠卡金相顯微鏡用于12"精密的觀(guān)察和復檢系統 Leica DM12000M DM12000M全新的光學(xué)設計,可以提供宏觀(guān)模式快速初檢,以及傾斜紫外光路功能(OUV, 傾斜紫外觀(guān)察模式) 不單提升了分辨率還提高了檢查12英寸(300毫米)硅片的產(chǎn)能。采用的 LED 照明技術(shù) 一體化設計并整合在顯微鏡上. 低熱輻射和機身內一體化技術(shù)確保了Z理想的機身外空氣流動(dòng)狀態(tài)。

  • 產(chǎn)品型號:Leica DM12000 M
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2023-02-22
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1398

詳細介紹

徠卡金相顯微鏡LEICA DM12000M 縮短檢查用時(shí),提高檢查效率自動(dòng)聚焦附件透射光檢查照明的自動(dòng)聚焦附件可配合所有的反射光照明觀(guān)察方式,甚至包括暗視場(chǎng)和微分干涉相襯觀(guān)察。實(shí)現快速和精確的自動(dòng)對焦,甚至觀(guān)察方式轉換時(shí)也能實(shí)時(shí)準確的找到焦面。兩種照明裝置可選,通用型及高數值孔徑型。為FPD,MASK板檢查提供合適的照明,并且可配備起偏鏡,實(shí)現投射光簡(jiǎn)易偏光觀(guān)察。高反差,更高分辨率,更高倍率檢查用于光刻膠殘留檢查的熒光觀(guān)察方式熒光分光鏡模塊 UV光學(xué)系統可以提供更高的反差和分辨率,分辨率可達0.12μm。

徠卡金相顯微鏡用于12”精密的觀(guān)察和復檢系統 Leica DM12000M DM12000M全新的光學(xué)設計,可以提供宏觀(guān)模式快速初檢,以及傾斜紫外光路功能(OUV, 傾斜紫外觀(guān)察模式) 不單提升了分辨率還提高了檢查12英寸(300毫米)硅片的產(chǎn)能,的 LED 照明技術(shù) 一體化設計并整合在顯微鏡上. 低熱輻射和機身內一體化技術(shù)確保了的機身外空氣流動(dòng)狀態(tài)。低能耗的節電設計大大延長(cháng)了使用壽命,符合綠色環(huán)保的理念。 一鍵式的操控設計使用戶(hù)可以輕易地完成倍率轉換和相關(guān)的照明和相襯效果。

   備有U.B.G等多種熒光方式可選,用于光顆膠殘留以及OLED檢查。方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數獲得 RS232C用于晶圓以及器件,甚至焊腳的內部檢查近紅外線(xiàn)觀(guān)察附件標配包括一個(gè)RS232C接口,使得用PC控制顯微鏡電動(dòng)部分成為可能,并且可以實(shí)現使工藝線(xiàn)上的幾臺顯微鏡都在同樣的設定狀態(tài)下工作。包括專(zhuān)門(mén)的紅外物鏡等附件,對從可見(jiàn)光到近紅外波段光線(xiàn)的像差做矯正,用于IC深層或內部檢查,可實(shí)現對WAFER BUMP的全面檢查自動(dòng)線(xiàn)寬CD測量附件以亞像素技術(shù)實(shí)現高度精確的CD測量,

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    為您帶來(lái)的優(yōu)勢

    超過(guò)傳統觀(guān)察4倍以上的效率

    低倍宏觀(guān)模式為您提供了比普通觀(guān)察技術(shù)4倍以上的視野。

    zui高分辨率

    全新的傾斜紫外觀(guān)察模式(OUV) 融合了紫外以及傾斜光技術(shù),使您可以從多種角度來(lái)觀(guān)察樣品。

    人體工學(xué)設計

    化的適合不同程度操作者的 長(cháng)時(shí)間直覺(jué)操作設計。

    LED 照明

    一體化設計的 LED 照明Integrated LED Illumination 使機身四周的空氣流動(dòng)達到理想狀態(tài).長(cháng)壽命與低能耗給使用企業(yè)帶來(lái)巨大的成本節省。

     

     

      

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